各種類型的濺射薄膜材料在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀(jì)90年代以來,濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,鐵嶺銀墊圈,極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。例如,在半導(dǎo)體集成電路制造過程中,哪里有銀墊圈,以電阻率較低的銅導(dǎo)體薄膜代替鋁膜布線。
在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場,在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場,同高壓電場組成正交電磁場。
在深加工產(chǎn)品這一領(lǐng)域,如何來提升產(chǎn)品的技術(shù)含量和檔次,納米技術(shù)、納米材料的科學(xué)研究,實踐應(yīng)用是這個產(chǎn)業(yè)向產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的方向,成為當(dāng)代關(guān)注和競爭的主要課題。
納米、(nm)納米技術(shù)、納米材料是當(dāng)代科技領(lǐng)域中的熱門名詞,已經(jīng)成為現(xiàn)實和潛在的巨大的應(yīng)用前景的納米銀線,已在山東、浙江、北京等地進入人們的視野,并進入國際市場,如果按照銀的當(dāng)前價7元/克計算的話,銀墊圈廠家,納米銀線的價格將是銀價的350倍以上。
半導(dǎo)電膠輥通常用在復(fù)印機、電子傳真裝置等辦公設(shè)備中。半導(dǎo)電膠輥屬于半導(dǎo)電元件,且電阻值受環(huán)境影響較大,對產(chǎn)品的導(dǎo)電性要求極其嚴(yán)格,因為打印的全過程是碳粉通過電場的壓力來實施,所以輕微的電性誤差將導(dǎo)致在打印過程中文字和圖片深淺不一的現(xiàn)象。因此需精密的量測,故要求有一套高精密的量測系統(tǒng)來支持,方能達到產(chǎn)品的設(shè)計要求。
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